China startet Massenproduktion von DUV-Lithografie
Der Schritt zielt auf das Segment reifer Knoten, in dem ASML weiter frei liefert, und signalisiert, dass Pekings Priorität bei 28 nm und darüber industrielle Selbstversorgung ist, nicht ein Sprung zur EUV-Parität.
CoinTelegraph